電界放出型走査電子顕微鏡

基本仕様

二次電子分解能	1.0nm（15kV, WD=4mm）
電子銃	冷陰極電界放出型
レンズ系	セミインレンズ
測定種類	Max displ：5um、Max force：10mN
加速電圧	0.5～30kV
照射電圧	0.1～2.0kV（リタ―ディングモード）
倍率	60x～2,000,000x
検出器	二次電子検出器Top/Upper/Lower, 反射電子検出器Top/Upper, 明視野STEM検出器
試料ステージ移動範囲	X.Y軸：50mm, Z軸：1.5-30ｍｍ, T軸：-5～70°, R軸：360°
試料サイズ	最大100mmφ
オプション元素分析(EDS)	HORIBA X-MAX50mm2
データ収集	測長機能、定性分析、面分析、ライン分析

主に高分解能を必要とするSEM観察に用いる装置です。SE像、BSE像の他、STEM　ホルダ使用でSTEM像観察が可能であ理、低加速電圧による観察、リターディング機能搭載しています。
金属、セラミックス、高分子、半導体デバイス、生物系等の微細構造観察に使用されます。