3次元高分解能X線顕微鏡 High Resolution 3D X-ray Microscopy
- 機種
- Xradia620Versa
複合ビーム加工観察装置
- メーカー
- 日本電子株式会社
- 機種
- JIB-4610F
- 用途
- 走査型電子顕微鏡
基本仕様
| 電子銃（SEM） | ショットキー電界放出電子銃 | |
|---|---|---|
| 分解能（SEM） | 1.2nm@30kV, 3.0nm@1kV | |
| 加速電圧（SEM） | 0.1-30kV | |
| イオン銃（FIB） | Ga液体金属イオン源 | |
| 分解能（FIB） | 4nm@30kV | |
| 加速電圧（FIB） | 1-30kV | |
| ビーム電流（FIB） | 1pA-90nA@30kV | |
| 検出器（FIB） | 下方検出器、R-BEI |
概要?用途（支援例等）
FIB-SEMは、FE-SEMとFIBを組み合わせた加工?観察装置です。FE-SEMの能力としては200,000倍程度までの試料観察が可能であり、FIBは90nAの大電流で加工が可能であるため、切削速度はGaイオン源としては加工が早い装置になります。
主な用途としては、試料の断面観察?TEM試料の作製?3D観察が挙げられます。FIBにより、特定箇所の切削が可能であるため、観察を行いたい部位の断面加工が可能となります。また、EDSが付属していることから、加工箇所の観察だけでなく、組成分析も可能です。
FIBとSEMを組み合わせることにより、加工?観察を指定範囲内で繰り返し行うことで3次元像の構築も可能であり、試料構造の解析を行うこともできます。
